МИКРОЭЛЕКТРОНИКА

1. МИКРОЭЛЕКТР´ОНИКА (от микро... и электроника), направление электроники, связанное с созданием приборов и устройств в микроминиатюрном исполнении и с использованием групповой (интегральной) технологии их изготовления. Возникла в нач. 60-х гг. 20 в. Совр. М. базируется на использовании физ. эффектов в тв. теле, в первую очередь в полупроводниках. Основу элементной базы М. составляют интегральные схемы (ИС). М. развивается в направлении уменьшения размеров содержащихся в ИС элементов (до 0,1-1 мкм), повышения степени их интеграции (до 10⁶-10⁷ элементов на кристалл), плотности упаковки (до 10⁵ элементов в 1 мм²), а также использования различных по принципу действия приборов (опто-, акусто-, криоэлектронных, на цилиндрич. магн. доменах и др.).

Большой российский энциклопедический словарь