ФОТОЛИТОГРАФИЯ : Значение слова в словарях
ФОТОЛИТОГРАФИЯ
- фотолитографии, ж. (тип.). Литография, основанная на применении фотографии. См. (фото) в 1 знач.
- ФОТОЛИТОГР´АФИЯ, литография с использованием печатной формы, созданной на поверхности литографского камня посредством фотокопирования; оттиск, полученный с такой формы. Ф. в планарной технологии - способ образования на поверхности полупроводн. кристалла (подложки) маски с "окнами" определ. форм и размеров для последующего формирования элементов интегральных схем и др. электронных приборов. Осуществляется фотокопированием изображения маски на слой фоторезиста (покрывающий кристалл), к-рый после соотв. хим. обработки (вскрытия "окон") становится такой маской.
Искать значение слова ФОТОЛИТОГРАФИЯ на сайте